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晶圓傳載解決方案

300mm 晶圓載具

RSP200/150 傳送FOUP

以FOUP作為外輪廓架構,內部加裝KC盤面及彈簧機構,提供6吋光罩盒在運送傳載與儲存時的高效能防護,絕佳的氣密性及支援充氣功能可對FOUP內部環境做溫濕度控制。
  • 尺寸
    300mm
  • 材質
    GBM (Gudeng Barrier Material)
  • 用途
    提供6吋光罩盒在運輸傳載與儲存時的高效能防護,絕佳氣密性與充氣功能可維持FOUP內部的溫溼度控制。