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晶圓傳載解決方案

300mm 晶圓載具

300mm FOUP

專為 300mm 晶圓儲存與搬運設計的前開式晶圓傳送盒(FOUP),以精密結構與領先工藝,提供半導體製程的關鍵解決方案。此規格具備卓越的微環境控制效能,可有效防止晶圓受到污染,其模組化設計支援多樣化製程需求,提供吸濕性與低吸濕性材質、各種手把顏色、一體式或非一體式結構等客製選項。每一項結構與尺寸設計皆嚴格遵循 SEMI 國際標準,確保全球半導體廠區可無縫整合、高效導入。
  • 尺寸
    300mm
  • 材質
    PC,GBM (Gudeng Barrier Material)
  • 片數
    13片、25片
特色
  • 低釋氣材質:減少釋出氣體汙染晶圓
  • 靜電消散材質:避免晶圓受靜電損害
  • 耐磨材質:減少particle生成
  • 絕佳充氣效能與氣密性
  • 支援OHT
  • 支援RFID功能
  • 支援充氣功能
  • 可選擇項目:
  • a.充氣孔位與數量:客製化設計
  • b.視窗:有視窗/ 無視窗