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::: 首頁 產品範疇 晶圓傳載解決方案 200mm 晶圓載具

200mm 晶圓載具

200mm晶圓載具

200mm晶舟盒(Wafer Cassette Box)-全透明上蓋

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。操作員容易透過全透明上蓋視窗辨識內部晶舟資訊,低釋氣材質的外殼可以降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險。
  • 尺寸
    200mm(8吋)
  • 材質
    PC(ESD)、PC
特色
  • 與晶舟接觸點為耐磨材質:減少particle生成
  • 低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險
  • 特殊定位設計:減少晶舟位移摩擦產生Particle
  • 全透明上蓋:操作員容易辨識內部晶舟之條碼
  • 可選擇項目:
                   雷射雕刻:客製化設計