200mm 晶圆载具 - Gudeng

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::: 产品范畴晶圆传载解决方案 200mm 晶圆载具

200mm 晶圆载具

200mm 晶舟(Wafer Cassette)

提供4吋光罩在运输与储存时的安全防护。

尺寸
200mm(8吋)
材质
PBT(ESD)/客制化
片数
25
25片装的8吋晶圆载具，适用于制程站间传送，与晶舟盒搭配可储存晶圆片并确保运输安全。所有尺寸皆符合SEMI规范，亦可因应机台设定作客制化修改，确保晶舟与机台之兼容性。

特色

1.ESD静电消散材质：避免晶圆受静电损害
2.直立定位设计：避免装载错误
3.对迭孔位设计：易于交换晶圆
4.所有尺寸皆符合SEMI规范
5.可依客制化需求调整晶圆间距
6.可选择项目：
a.材质：耐酸碱材质/可于真空环境操作之材质
b.外观(把手、机械夹取与定位点等)
c.可支持RFID功能
d.雷射雕刻：客制化设计