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::: 首頁 产品范畴 晶圆传载解决方案 200mm 晶圆载具

200mm 晶圆载具

200mm 晶圓載具

200mm 晶圆运输盒 (Wafer Shipping Box)

25片装的200mm晶圆运输盒,适用于200mm空白晶圆的运输。低释气、耐磨与高强度材质,可以减少particle生成并提供晶圆传载的完美保护。
  • 尺寸
    200mm(8吋)
  • 材质
    PC
  • 片数
    25片装(内含PC晶舟)
特色
  • 1.低释气材质:降低释出气体污染晶圆风险
    2.特殊定位片与防震设计:减少晶圆位移摩擦产生particle
    3.气密胶条:有效阻绝外部气体污染晶圆
    4.可堆栈之通用外观设计