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::: 首頁 产品范畴 晶圆传载解决方案 300mm 晶圆载具

300mm 晶圆载具

300mm 晶圓載具

300mm FOUP(紅)

提供300mm晶圆在运输传载与储存时的高效能防护,绝佳气密性与充气功能可将FOUP内部维持在低湿度的洁净环境。低释气与低吸湿材质,可以有效降低晶圆受到释出气体污染的风险。所有尺寸皆符合SEMI规范,亦可因应机台参数设定作客制化修改,确保FOUP与机台之兼容性。
  • 尺寸
    300mm(12吋)
  • 材质
    PC、PC(ESD)
  • 片数
    13片、25片
特色
  • 1.低释气材质:减少释出气体污染晶圆
    2.静电消散材质:避免晶圆受静电损害
    3.耐磨材质:减少particle生成
    4.绝佳充气效能与气密性
    5.即开即关门闩结构:避免门板闭锁不全
    6.支援OHT
    7.支持RFID功能
    8.支援充气功能
    9.可选择项目:
    a.充气孔位与数量:客制化设计
    b.窗口:有窗口/ 无窗口