300mm 晶圆载具 - Gudeng

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::: 产品范畴晶圆传载解决方案 300mm 晶圆载具

300mm 晶圆载具

Film Frame FOUP / Tape Frame FOUP

提供300mm wfer frame在运输传载与储存时的高效能防护，低释气材质，可以有效降低晶圆受到释出气体污染的风险。

尺寸
300mm(12吋)
材质
PC(ESD)
片数
13

特色

1.ESD低释气材质：减少释出气体污染晶圆
2.静电消散材质：避免晶圆受静电损害
3.支援OHT
4.支持RFID功能
5.支援充气功能
6.可选择项目：
a.充气孔位与数量：客制化设计