跳到主要內容區塊
::: 首頁 产品范畴 晶圆传载解决方案 300mm 晶圆载具

300mm 晶圆载具

300mm 晶圓載具

300mm Diffuser FOUP

提供300mm晶圆在运输传载与储存时的高效能防护,绝佳气密性与充气功能可将FOUP内部维持在低湿度的洁净环境。低释气与低吸湿材质,可以有效降低晶圆受到释出气体污染的风险。所有尺寸皆符合SEMI规范,亦可因应机台参数设定作客制化修改,确保FOUP与机台之兼容性。
  • 尺寸
    300mm(12吋)
  • 材质
    COP
  • 片数
    25
特色
  • 1.低释气材质,大幅度降地有机化合物释出,防止污染晶圆
    2.气体扩散片设计,可以加速内部湿度下降
    3.静电消散材质,避免晶圆受静电损害
    4.耐磨材质,减少particle生成
    5.绝佳气密性
    6.即开即关门闩结构:避免门板闭锁不全
    7.支援OHT
    8.支持RFID功能
    9.支援充气功能
    10.部份耗材具替换性,可减少资源浪费,降低客户成本