使用不锈钢的导体材料包覆光罩，能完全阻绝电场并避免静电损害；特殊的支点机构设计能缓冲光罩在运输时因震动产生的particle，并采用使用低释气材质，将光罩受到Haze污染的风险降至最低，提供6吋光罩在运输与储存时最高效能的安全防护。