RSP 150 - Gudeng

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::: 产品范畴光罩传载解决方案 RSP 150

RSP 150

六层光罩传送盒 (MRSP)

提供至多六片6吋光罩在制程站间传送与储存的高效能防护，并具备充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温湿度控制。

尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材质
PC、PEEK
片数
6
用途
六片光罩传送及高效能储存
适用载具
支持SMIF标准机械接口

特色

1.支持RFID功能，可拆卸RFID座：方便读取光罩信息
2.低释气材质并支持充气功能：减少Haze污染
3.绝佳气密性
4.与光罩接触点皆为耐磨材质：有效减少Particle生成