RSP 200 - Gudeng

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::: 产品范畴光罩传载解决方案 RSP 200

RSP 200

RSP200光罩传送盒(OHT头)

提供6吋光罩在制程站间传送与储存的高效能防护，支持OHT自动化传载。一体式上盖设计易于清洗，并采用耐磨高洁净材质减少Particle生成的风险。

尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材质
PC(ESD)
适用载具
支持200mmSMIF标准机械接口

特色

1.支持RFID功能
2.低释气材质并支持充气功能：减少Haze污染
3.ESD静电消散材质：避免光罩受静电损害
4.低释气材质：降低Haze污染风险
5.与光罩接触点皆为耐磨材质：有效减少Particle生成
6.特殊底板开关机构：避免开锁不完全导致光罩摔落
7.绝佳气密性
8.支持充气功能，采用易更换式Filter设计
9.支持OHT功能
10.可选择项目-
RFID数目：1个/2个(双边各一个)