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产品范畴
光罩传载解决方案
RSP 150
RSP 150
縮小選擇範圍
尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材质
PEEK(ESD)
ABS(ESD)
PC(ESD)
PC
PEEK
片数
6
用途
支持充气功能、单片光罩传送及高效能储存
单片光罩传送及高效能储存
六片光罩传送及高效能储存
适用载具
支持SMIF标准机械接口、适用于ASML曝光机
适用于ASML/Nikon曝光机
支持SMIF标准机械接口
類別
全部
RSP 150
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