RSP 150

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::: Products Reticle Handling Solution RSP 150

RSP 150

縮小選擇範圍

Size

6 x 6 x 0.25 (in.)

Material

PEEK(ESD) ABS(ESD) or PC(ESD)

Usage

Single reticle transport or storage Support purge function

Application

Support SMIF standard mechanical interface,Suitable for ASML exposure machine or Support purge function Suitable for ASML/Nikon exposure machine Support SMIF standard mechanical interface,Suitable for ASML exposure machine or Support purge function