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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。 |
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質:PEEK(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML曝光機 § 支援充氣功能
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。 |
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質:PEEK(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML曝光機 § 支援充氣功能
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。外殼使用高效能材料,能有效降低Haze汙染風險。 |
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質:FRP(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML曝光機
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