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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：PC、PEEK § 六片光罩傳送及高效能儲存 § 支援SMIF標準機械介面 |
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說明 |
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提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。 |
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規格 |
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§ 支援RFID功能，可拆卸RFID座：方便讀取光罩資訊 |
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特色 |
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§ 低釋氣材質並支援充氣功能：減少Haze汙染 § 絕佳氣密性 § 與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成 |
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相關產品 |
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§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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