|
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質:PC、PEEK § 六片光罩傳送及高效能儲存 § 支援SMIF標準機械介面 |
說明 |
|
提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。 |
|
規格 |
|
§ 支援RFID功能,可拆卸RFID座:方便讀取光罩資訊 |
|
特色 |
|
§ 低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染 § 絕佳氣密性 § 與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成 |
|
相關產品 |
|
§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
|
|