RSP200
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。一體式上蓋設計易於清洗,並採用耐磨高潔淨材質減少Particle生成的風險。大面積透明視窗易於檢視內部光罩資訊。
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋)
§ 材質:PEEK(ESD)
§ 支援200mmSMIF標準機械介面
業務窗口
02-2268-9141
分機1608、1609
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