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§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:PC § 容量:25片裝(內含PC晶舟) |
說明 |
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25片裝的200mm晶圓運輸盒,適用於200mm空白晶圓的運輸。低釋氣、耐磨與高強度材質,可以減少particle生成並提供晶圓傳載的完美保護。 |
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特色 |
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§ 低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險 § 特殊定位片與防震設計:減少晶圓位移摩擦產生particle § 氣密膠條:有效阻絕外部氣體汙染晶圓 § 可堆疊之通用外觀設計 |
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相關產品 |
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§ 200mm晶舟 § 200mm晶舟盒 § 200mm晶圓傳送盒 § 多功能載具清洗機
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